Uniós támogatással létesített korszerű oxidációs kályha segíti az ipari szenzorfejlesztést az Energiatudományi Kutatóközpontban

Hírek

Az ELKH Energiatudományi Kutatóközpont (ELKH EK) Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézetén belül működő Mikrotechnológiai Laboratórium félvezető technológiai tisztaterében nemrégiben üzembe helyezték azt az uniós támogatással létesített új oxidációs kályhát, amely a kutatást, az oktatást és az ipari szenzorfejlesztést segíti majd. A fejlesztés általános célja, hogy korszerűbbé tegye az ELKH EK mikrotechnológiai infrastruktúráját, és ezzel is elősegítse az európai kompatibilitás elérését.

Az infrastruktúrafejlesztési projekt keretében beszerzett oxidációs kályha a meglévő, elavult diffúziós kályhát váltja ki egy korszerű berendezéssel. A telepített kályha elengedhetetlen a félvezetőtechnológiai eljárásokkal előállított szilíciumalapú mikromechanikai chipek és szenzorok megmunkálásához. Az új eszköz a félvezető tisztaságú szilícium kristályszeletek száraz és nedves oxidációja mellett a technológiai igényeknek megfelelő közegben végzett hőkezelési eljárásokra is alkalmas a 300–1150 oC hőmérséklet-tartományban.

kalyha-ek

Az új berendezéssel a laboratórium általános technológiai színvonala és megbízhatósága is jelentős mértékben javul, ezért a projekt ezzel is hozzájárul a hagyományosan sikeres nemzetközi és hazai K+F projektek számának bővítéséhez, emellett újabbak kezdeményezése révén elősegíti a nagy európai K+F konzorciumokhoz történő kapcsolódást. Az új oxidációs kályha már jelenleg is nélkülözhetetlen technológiai berendezés többek között a H2020 ECSEL „Kísérleti gyártósor új generációs intelligens katéterek és implantátumok gyártására (POSITION II)” uniós projekt, a „Moore-trend az orvostechnikai innovációban (Moore4Medical)” projekt, illetve az orosz–magyar együttműködésben fejlesztett „Kis fogyasztású kalorimetrikus nanoszenzorok gázérzékelésre” című projekt szenzorfejlesztéseiben.

A nemzetközi kapcsolatok mellett kiemelt szerepet szánnak a hazai ipari igények kiszolgálásának és a felsőoktatási képzések aktív támogatásának is.

A projekt az Európai Unió és Magyarország Kormánya közös finanszírozásának keretében az Európai Strukturális és Beruházási Alapok támogatásával, a Versenyképes Közép-Magyarország Operatív Program – Stratégiai K+F műhelyek kiválósága részben valósult meg, közel 227 millió forint keretösszeggel.

További információ:

https://www.mfa.kfki.hu/kutatas/projektek/vekop-diffuzios/

Kapcsolat:

Dr. Dücső Csaba, projektvezető

ELKH Energiatudományi Kutatóközpont Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet

+36 1 392 2222/3885

@email